三菱电机驱动的变革“SiC的发展历程”

在20年代90年代初，三菱电机已经开始对功率器件SiC的基础研发工作，多种基于SiC基础工艺技术已于2000年研发出来，而额定功率3.7KW的电机驱动用SiC变频器也于2016年1月成功研发。此后，在攻克了基础工艺技术之后的三菱电机，其SiC功率器件也在不同的应用领域中，先后树立了丰碑。

根据高松升先生的介绍，自2013年开始正式面向市场推出第一代SiC功率模块，三菱电机并与12月，也推出搭载SiC功率模块的轨道牵引变流器；2015年，其SiC功率器件也开始进军光伏逆变器等多个全新应用领域；而在同年，第一款基于全SiC的功率模块，三菱电机机车牵引系统在日本新干线开始安装使用；到了18年，三菱电机新研发的6.5KW全SiC功率模块已经达到了最高的功率密度。而截至目前，三菱电机功率半导体SiC功率模块产品线涵盖额定电流15A至1200A，以及额定电压600至3300V的多种产品。

发展至今，SiC功率模块已经能满足电力电子行业对功率器件低损耗、耐高温、高频化等性能要求的同时，也带来短路耐量下降、电磁噪声变大等应用问题。而三菱电机为了满足功率器件市场对效率高、尺寸小、噪声低、重量轻的要求，三菱还在坚持加大对高技术产品的开发与研究投入。

如今，三菱电机正在加紧新一代沟槽栅SiC MOSFET芯片的研发工作，该技术将进一步优化导通电阻和短路耐量的关系，并计划在将来实现新型SiC MOSFET模块的商业化。